VACUUM DEGREE MEASUREMENT SENSOR USING GRAPHENE NANORIBBON

The present invention relates to a vacuum degree measurement sensor using a graphene nanoribbon, which comprises a thin graphene nanoribbon film configured by at least two graphene nanoribbon layers and senses the degree of a vacuum by using a resistance value of each of the graphene nanoribbon layers. A vacuum degree measurement sensor using a graphene nanoribbon according to the present invention uses a graphene nanoribbon and thus has a short cross-sectional distance and a resistance value that significantly changes according to a curved state thereof. Therefore, the vacuum degree measurement sensor has increased sensitivity and allows gas molecules trapped between graphene layers to be diffused in a short distance, so that the sensor can have an increased response speed according to the degree of a vacuum. La présente invention concerne un capteur de mesure de degré de vide utilisant un nanoruban de graphène, qui comprend un film mince de nanorubans de graphène consistant en au moins deux couches de nanoruban de graphène et qui détecte le degré de vide en utilisant une valeur de résistance de chacune des couches de nanoruban de graphène. Un capteur de mesure de degré de vide utilisant un nanoruban de graphène selon la présente invention utilise un nanoruban de graphène et présente par conséquent une faible distance de section transversale et une valeur de résistance qui change de manière significative en fonction de l'état de sa courbure. Par conséquent, le capteur de mesure de degré de vide a une sensibilité accrue et permet aux molécules de gaz piégées entre les couches de graphène d'être diffusées sur une courte distance, ce qui permet au capteur d'avoir une vitesse de réponse plus élevée en fonction du degré de vide. 본 발명은 그래핀 나노리본을 이용한 진공도 측정 센서로서, 2층 이상의 그래핀 나노리본 층으로 이루어진 그래핀 나노리본 박막을 포함하여, 상기 그래핀 나노리본 층의 저항값으로 진공도를 감지하는 그래핀 나노리본을 이용한 진공도 측정 센서에 관한 것이다. 본 발명에 따른 그래핀 나노리본을 이용한 진공도 측정 센서는 그래핀 나노리본을 사용하여 단면 거리가 짧아 굴곡 상태에 따라 저항값 변화가 매우 커, 센서의 민감도가 증가하는 동시에 그래핀 층간에 갇혀있는 가스 분자의 확산이 짧은 거리에서 일어나 진공도에 따른 응답속도를 높일 수 있는 장점이 있다.