POLING OF A PIEZOELECTRIC THIN FILM ELEMENT IN A PREFERRED ELECTRIC FIELD DRIVING DIRECTION

A piezoelectric thin film element (220) is provided comprising a first electrode (260), a piezoelectric layer (240) formed on said first electrode; and a second electrode (280) formed on said piezoelectric layer; wherein said piezoelectric layer is poled, by applying a poling electric field across said piezoelectric layer from said first electrode to said second electrode, wherein said second electrode is at a lower potential relative to said first electrode, to orient dipoles of said piezoelectric layer in a dipole direction from said first electrode to said second electrode, and wherein said first and second electrodes are configured such that said second electrode is at a lower potential relative to said first electrode when said piezoelectric thin film element is deformed in a deformation direction predominantly opposite to said dipole direction. L'invention concerne un élément à couches minces piézoélectrique (220) comprenant une première électrode (260), une couche piézoélectrique (240) formée sur ladite première électrode, et une seconde électrode (280) formée sur ladite couche piézoélectrique ; ladite couche piézoélectrique étant polarisée, par application d'un champ électrique de polarisation à travers ladite couche piézoélectrique de ladite première électrode à ladite seconde électrode, ladite seconde électrode étant à un potentiel inférieur par rapport à ladite première électrode, pour orienter les dipôles de ladite couche piézoélectrique dans une direction dipolaire de ladite première électrode à ladite seconde électrode, et lesdites première et seconde électrodes étant conçues de telle sorte que ladite seconde électrode se trouve à un potentiel inférieur par rapport à ladite première électrode lorsque ledit élément à couches minces piézoélectrique est déformé dans une direction de déformation essentiellement opposée à ladite direction dipolaire.