MEMS DEVICE AND PROCESS

The application describes MEMS transducer structures- comprising a membrane structure having a flexible membrane layer and at least one electrode layer. The electrode layer is spaced from the flexible membrane layer such that at least one air volume extends between the material of the electrode laye...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	PIECHOCINSKI, Marek Sebastian, JENKINS, Colin Robert, GRAHAM, Clive Robert
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	DEAF-AID SETS ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE ELECTRICITY LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS PUBLIC ADDRESS SYSTEMS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The application describes MEMS transducer structures- comprising a membrane structure having a flexible membrane layer and at least one electrode layer. The electrode layer is spaced from the flexible membrane layer such that at least one air volume extends between the material of the electrode layer and the membrane layer. The electrode layer is supported relative to the flexible membrane by means of a support structure which extends between the first electrode layer and the flexible membrane layer,. L'invention concerne des structures de transducteurs MEMS comportant une structure à membrane dotée d'une couche de membrane souple et au moins une couche d'électrode. La couche d'électrode est écartée de la couche de membrane souple de telle façon qu'au moins un volume d'air s'étende entre le matériau de la couche d'électrode et la couche de membrane. La couche d'électrode est soutenue par rapport à la membrane souple au moyen d'une structure de soutien qui s'étend entre la première couche d'électrode et la couche de membrane souple.