PROCESSING SYSTEM AND METHOD FOR PROCESSING A FLEXIBLE SUBSTRATE

According to one aspect of the present disclosure, a processing system (100) for processing a flexible substrate (10) is provided. The processing system includes: a vacuum chamber (11); a transport system configured to guide the flexible substrate (10) through the vacuum chamber (11) along a substrate transportation path (P), wherein the transport system comprises a first substrate support (22) and a second substrate support (24) arranged at a distance from the first substrate support (22); and an inspection system for inspecting the flexible substrate (10). The inspection system includes: a light source (30) configured to direct a light beam (31) through a portion of the flexible substrate (10) between the first substrate support (22) and the second substrate support (24); and a light detector (40) for detecting the light beam (31) for conducting a transmission measurement of the flexible substrate (10), wherein at least one of the light source (30) and the light detector (40) is arranged in an environment configured for a second pressure level different from a first pressure level in the vacuum chamber (11). According to a further aspect, a deposition apparatus is provided. According to a further aspect, a method processing a flexible substrate is provided. Un aspect de la présente invention concerne un système de traitement (100) pour traiter un substrat flexible (10). Le système de traitement comprend : une chambre à vide (11) ; un système de transport configuré pour guider le substrat flexible (10) à travers la chambre à vide (11) le long d'un trajet de transport de substrat (P), le système de transport comprenant un premier support de substrat (22) et un deuxième support de substrat (24) agencé à une certaine distance du premier support de substrat (22) ; et un système d'inspection pour inspecter le substrat flexible (10). Le système d'inspection comprend : une source de lumière (30) configurée pour diriger un faisceau lumineux (31) à travers une partie du substrat souple (10) entre le premier support de substrat (22) et le deuxième support de substrat (24) ; et un détecteur de lumière (40) pour détecter le faisceau lumineux (31) pour effectuer une mesure de transmission du substrat flexible (10), au moins l'une de la source de lumière (30) et du détecteur de lumière (40) étant agencé dans un environnement configuré pour un deuxième niveau de pression différent d'un premier niveau de pression dans la chambre à vide (11). Selon un autre aspect, l'inve