EDGE REGISTRATION FOR INTERFEROMETRY

A metrology apparatus has an illumination source that directs collimated light to a reference surface and to an optical component having a test surface that is in parallel with the reference surface. A first imaging lens defines a Fourier transform plane for light reflected from the reference surface and the test surface. A spatial filtering element is actuable to a blocking position that blocks specular light at the transform plane. A second imaging lens forms, at an image plane, an image of the test surface. A sensor array generates image data from received light at the image plane. La présente invention concerne un appareil de métrologie comportant une source d'éclairage qui dirige la lumière collimatée vers une surface de référence et vers un composant optique comportant une surface d'essai qui est parallèle à la surface de référence. Une première lentille d'imagerie définit un plan de transformée de Fourier pour la lumière réfléchie par la surface de référence et par la surface d'essai. Un élément de filtrage spatial peut être actionné à une position de blocage de lentille qui bloque la lumière spéculaire au niveau du plan de transformée. Une deuxième lentille d'imagerie forme, au niveau d'un plan d'image, une image de la surface d'essai. Un réseau de capteurs génère des données d'image à partir de la lumière reçue au niveau du plan d'image.