CLEANING METHOD AND CLEANING DEVICE

The purpose of the present invention is to provide a cleaning method and a cleaning device with which matter to be cleaned can be desirably removed from a member to be cleaned in a more preferable manner. The cleaning method and the cleaning device according to the present invention are characterized in that, while maintaining a state in which a plurality of members to be cleaned and a processing liquid spraying opening are submerged in a processing liquid, and in a state in which a relative reciprocal motion comprising at least one of a horizontal direction reciprocal motion and a vertical direction reciprocal motion of the plurality of members to be cleaned relative to the processing liquid spraying opening is being performed, the processing liquid is sprayed out of the processing liquid spraying opening to remove matter to be cleaned, which has formed on the plurality of members to be cleaned, and the removed matter to be cleaned is discharged together with the processing liquid in which the plurality of members to be cleaned have been submerged, and together with the processing liquid that has been sprayed out of the processing liquid spraying opening. La présente invention vise à fournir un procédé et un dispositif de nettoyage au moyen desquels la matière à nettoyer peut être avantageusement éliminée d'un élément à nettoyer de manière plus adaptée. Le procédé et le dispositif de nettoyage selon l'invention sont caractérisés en ce que, tout en maintenant un état dans lequel une pluralité d'éléments à nettoyer et une ouverture de pulvérisation de liquide de traitement sont immergés dans un liquide de traitement, et où un mouvement de va-et-vient relatif de la pluralité d'éléments à nettoyer par rapport à l'ouverture de pulvérisation de liquide de traitement est effectué, consistant au moins en un mouvement de va-et-vient horizontal ou vertical, le liquide de traitement est pulvérisé hors de l'ouverture de pulvérisation de liquide de traitement de façon à éliminer la matière à nettoyer qui s'est formée sur la pluralité d'éléments à nettoyer, et la matière éliminée à nettoyer est évacuée conjointement avec le liquide de traitement dans lequel la pluralité d'éléments à nettoyer ont été immergés, et conjointement avec le liquide de traitement qui a été pulvérisé hors de l'ouverture de pulvérisation de liquide de traitement. より良好に被洗浄部材からの被洗浄物の所望の除去をもたらすことが可能な洗浄方法及び洗浄装置を提供すること。 本発明の洗浄方法及び洗浄装置は、複数の被洗浄部材と処理液噴射口とが処理液に沈められた状態が保持された状態で、なお且つ、複数の被洗浄部材と処理液噴射口との相対的な水