AIRBORNE MOLECULAR CONTAMINATION FILTER CARTRIDGE SYSTEM WITH COMBUSTIBLE FILTER CARTRIDGE AND REUSABLE FRAME

Filters for semiconductor tool and clean room applications to control airborne molecular contamination. The filter cartridge system includes a filter cartridge having a non-woven fiber and at least one adsorbent. In some embodiments, the filter cartridge is constructed of substantially combustible m...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LEBLANC, Tom, GAUDREAU, John, WILDGOOSE, Joe, WARNIERS, Evan, VENET, Marc
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL SEPARATION TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Filters for semiconductor tool and clean room applications to control airborne molecular contamination. The filter cartridge system includes a filter cartridge having a non-woven fiber and at least one adsorbent. In some embodiments, the filter cartridge is constructed of substantially combustible materials to support its end of service destruction. L'invention concerne des filtres pour un outil à semi-conducteur et des applications de salle blanche pour lutter contre la contamination moléculaire dans l'air. Le système de cartouche filtrante comprend une cartouche filtrante comprenant une fibre non tissée et au moins un adsorbant. Dans certains modes de réalisation, la cartouche filtrante est construite à partir de matériaux sensiblement combustibles pour supporter sa destruction en fin de vie utile.