ENHANCED DEFECT REMOVAL THROUGH SUBSTRATE AND MEDIA CHARGE MODULATION

Equipment and processes for enhanced defect removal through substrate and media charge modulation are described. In an example, a system for defect removal through substrate and media charge modulation is provided. In another example, a method for defect removal through substrate and media charge mo...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	THOMPSON, Erica J, HARPER, Michael K, MCINTYRE, Brian J, BEATTIE, Bruce E
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Equipment and processes for enhanced defect removal through substrate and media charge modulation are described. In an example, a system for defect removal through substrate and media charge modulation is provided. In another example, a method for defect removal through substrate and media charge modulation is provided. L'invention porte sur un équipement et sur des procédés permettant de réaliser une élimination améliorée des défauts par la modulation de la charge du substrat et du support. Dans un exemple, un système pour l'élimination des défauts par la modulation de la charge du substrat et du support est utilisé. Dans un autre exemple, un procédé d'élimination des défauts par la modulation de la charge du substrat et du support est utilisé.