TREATING APPARATUS

The treating apparatus of the present invention is provided, for example, with a plurality of placement stands 8 on which an object to be treated 2 is placed, a rotating table 9 on which the plurality of placement stands 8 are loaded, and a housing 13 for housing the placement stands 8 and the like, some of the placement stands 8 being arranged at a treatment position 8A at which the object to be treated 2 is treated, and some of the placement stands 8 being arranged at an replacement position 8B at which the objects to be treated 2 are replaced. An opening part 34c disposed at the upper side of the placement stand 8 arranged at the replacement position 8B is formed in the housing 13, and a raising mechanism 11 for raising the placement stand 8 is arranged below the placement stand 8 arranged at the replacement position 8B. When the placement stand 8 arranged at the replacement position 8B is lifted, the opening part 34c is blocked, the inside of the housing 13 becomes a sealed space, and the object to be treated 2 is exposed to the outside of the housing 13. L'appareil de traitement selon la présente invention comprend, par exemple, une pluralité de supports de placement 8 sur lesquels un objet à traiter 2 est placé, une table rotative 9 sur laquelle la pluralité de supports de placement 8 sont chargés, et un boîtier 13 pour recevoir les supports de placement 8 et similaires, certains des supports de placement 8 étant agencés à une position de traitement 8A à laquelle l'objet à traiter 2 est traité, et certains des supports de placement 8 étant agencés à une position de remplacement 8B à laquelle les objets à traiter 2 sont remplacés. Une partie d'ouverture 34c disposée sur le côté supérieur du support de placement 8 agencé à la position de remplacement 8B est formée dans le boîtier 13, et un mécanisme de levage 11 pour lever le support de placement 8 est agencée au-dessous du support de placement 8 agencé à la position de remplacement 8B. Lorsque le support de placement 8 agencé à la position de remplacement 8b est levé, la partie d'ouverture 34c est bloquée, l'intérieur du boîtier 13 devient un espace scellé, et l'objet à traiter 2 est exposé à l'extérieur du boîtier 13. この処理装置は、たとえば、処理対象物２が載置される複数の載置台８と、複数の載置台８が搭載される回転テーブル９と、載置台８等が収容される筐体１３とを備え、いくつかの載置台８は、処理対象物２の処理が行われる処理位置８Ａに配置され、いくつかの載置台８は、処理対象物８の入替が行われる入替位置８Ｂに配置されている。筐体１３には、入替位置８Ｂに配置される載置台８の上側に配置される開口部３４ｃが形成され、入替位置８Ｂに配置される載置台８の下側には、載置台８を上昇させる上昇機構１１が配置されている。入替位置８Ｂに配置される載置台８が持ち上げられると、開口部３４ｃが塞がれて筐体１３の内