SUBSTRATE SUPPORT PEDESTAL HAVING PLASMA CONFINEMENT FEATURES

A method and apparatus for a heated substrate support pedestal is provided. In one embodiment, the heated substrate support pedestal includes a body comprising a ceramic material, a plurality of heating elements encapsulated within the body A stem is coupled to a bottom surface of the body. A plurality of heater elements, a top electrode and a shield electrode are disposed within the body. The top electrode is disposed adjacent a top surface of the body, while the shield electrode is disposed adjacent the bottom surface of the body. A conductive rod is disposed through the stem and is coupled to the top electrode. L'invention concerne un procédé et un appareil pour un socle de support de substrat chauffé. Dans un mode de réalisation, le socle de support de substrat chauffé comprend un corps comportant un matériau céramique, une pluralité d'éléments chauffants encapsulés à l'intérieur du corps, une tige couplée à une surface inférieure du corps. Une pluralité d'éléments chauffants, une électrode supérieure et une électrode protectrice sont disposés à l'intérieur du corps. L'électrode supérieure est disposée adjacente à une surface supérieure du corps, alors que l'électrode protectrice est disposée adjacente à la surface inférieure du corps. Une tige conductrice est disposée à travers la tige et est couplée à l'électrode supérieure.