GETTER MATERIAL COMPRISING INTRINSIC COMPOSITE NANOPARTICLES AND METHOD OF PRODUCTION THEREOF
The present invention relates to a getter material and a production method thereof. The method enables control of a sol-gel process so that a nanoparticle getter material with intrinsic nanoparticles in a size range from 10 nm to 1 µm can be produced with accurate size control. The intrinsic nanopar...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , , , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | The present invention relates to a getter material and a production method thereof. The method enables control of a sol-gel process so that a nanoparticle getter material with intrinsic nanoparticles in a size range from 10 nm to 1 µm can be produced with accurate size control. The intrinsic nanoparticles of the getter material are composites of magnesium oxide and amorphous magnesium carbonate, substances that have properties that are highly interesting for getter applications. The composition ratio of magnesium oxide to magnesium carbonate may preferably be in the range from 5:95 to 50:50.
La présente invention concerne un matériau getter et son procédé de production. Le procédé permet la commande d'un procédé sol-gel de sorte qu'un matériau getter nanoparticulaire, présentant des nanoparticules intrinsèques comprises dans une plage de taille allant de 10 nm à 1 µm, peut être produit au moyen d'une commande de taille précise. Les nanoparticules intrinsèques du matériau getter sont des composites d'oxyde de magnésium et de carbonate de magnésium amorphe ; des substances ayant des propriétés particulièrement intéressantes pour des applications de getter. Le rapport de composition entre l'oxyde de magnésium et le carbonate de magnésium peut être compris, de préférence, entre 5:95 et 50:50. |
---|