VERTICAL SIC MOSFET
Es wird ein vertikaler SiC-MOSFET (20) mit einem Sourceanschluss (2), einem Drainanschluss (4) und einem Gatebereich (36) sowie mit einer zwischen dem Sourceanschluss (2) und dem Drainanschluss (4) angeordneten, eine Dotierung einer ersten Art aufweisenden Epitaxieschicht (22), wobei in die Epitaxie...
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Format: | Patent |
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