CANTILEVER AND METHOD FOR MANUFACTURING CANTILEVER
A cantilever 1 to be used in a scanning probe microscope includes a supporting section 10, a lever section 20, and a protruding section 30, i.e., a probe, and a crystalline carbon composite layer 60 is deposited on a leading end portion of the protruding section 30, said crystalline carbon composite...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre ; jpn |
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| Zusammenfassung: | A cantilever 1 to be used in a scanning probe microscope includes a supporting section 10, a lever section 20, and a protruding section 30, i.e., a probe, and a crystalline carbon composite layer 60 is deposited on a leading end portion of the protruding section 30, said crystalline carbon composite layer containing a crystalline carbon nano material, and a metal material having a melting point MP of 420°C or lower.
L'invention concerne un support en porte-à-faux 1 destiné à être utilisé dans un microscope-sonde à balayage comprenant une section de support 10, une section de levier 20 et une section en saillie 30, à savoir une sonde, et une couche de composite de carbone cristallin 60 est déposée sur une partie d'extrémité antérieure de la section en saillie 30, ladite couche composite de carbone cristallin contenant un nanomatériau de carbone cristallin et un matériau métallique présentant un point de fusion MP inférieur ou égal à 420 °C.
走査型プローブ顕微鏡に用いられるカンチレバー１は、支持部１０とレバー部２０と探針である突起部３０とを含み、突起部３０の先端部に、結晶性炭素ナノ材料と融点ＭＰが４２０℃以下の金属材料とを含む結晶性炭素複合層６０が、堆積されている |
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