MULTIPHASE LINEAR MOTOR, MULTIPHASE PLANAR MOTOR, STAGE, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

An electromagnetic motor is described, the electromagnetic motor comprising: a magnet assembly configured to generate a two-dimensional alternating magnetic field having a pitch Pm1 in a first direction and a pitch Pm2 in a second direction; a coil assembly configured to co-operate with the magnet assembly to generate a first force in the first direction and a second force in the second direction, wherein the coil assembly comprises a first coil set comprising a plurality of first coils for generating the first force and a second coil set comprising a plurality of second coils for generating the second force, wherein a ratio R1 of a coil pitch Pc1 in the first coil set in the first direction over Pm1 is different from a ratio R2 of a coil pitch Pc2 in the second coil set in the second direction over Pm2. L'invention concerne un moteur électromagnétique, le moteur électromagnétique comprenant : un ensemble aimants configuré pour générer un champ magnétique alternatif bidimensionnel ayant un pas Pm1 dans une première direction et un pas Pm2 dans une seconde direction ; et un ensemble bobines configuré pour coopérer avec l'ensemble aimants afin de générer une première force dans la première direction et une seconde force dans la seconde direction, l'ensemble bobines comprenant un premier jeu de bobines comprenant une pluralité de premières bobines pour générer la première force et un second jeu de bobines comprenant une pluralité de secondes bobines pour générer la seconde force, un rapport R1 d'un pas entre bobines Pc1 dans le premier jeu de bobines dans la première direction sur Pm1 étant différent d'un rapport R2 d'un pas entre bobines Pc2 dans le second jeu de bobines dans la seconde direction sur Pm2.