METHOD AND MEASURING DEVICE FOR MEASURING THE TOPOGRAPHY BY USING AT LEAST TWO HEIGHT PLANES OF A SURFACE

Ein Verfahren zur Messung der Topographie einer Oberfläche einer Probe (2) wird bereitgestellt, wobei das Gesamtbild eine Vielzahl von Bildpunkten aufweist. Das Verfahren umfasst: Erzeugen einer oberen Messung mit einer Vielzahl von oberen Messwerten (mo), Erzeugen einer unteren Messung mit einer Vielzahl von unteren Messwerten (md), Vergleichen der oberen Messwerte mit einem vorbestimmten oberen Schwellwert (so) und Vergleichen der unteren Messwerte mit einem vorbestimmten unteren Schwellwert (Sd), und Erstellen eines Gesamtbildes aus dem Vergleichen der oberen Messwerte (mo) mit dem vorbestimmten oberen Schwellwert (so) und dem Vergleichen der unteren Messwerte (md) mit dem vorbestimmten unteren Schwellwert (sd). The invention relates to a method for measuring the topography of a surface of a sample (2), wherein the total image has a plurality of pixels. The method comprises: producing an upper measurement having a plurality of upper measured values (mo), producing a lower measurement having a plurality of lower measured values (md), comparing the upper measured values with a predetermined upper threshold value (so) and comparing the lower measured values with a predetermined lower threshold value (sd), and creating a total image from the comparison of the upper measured values (mo) with the predetermined upper threshold value (so) and the comparison of the lower measured values (md) with the predetermined lower threshold value (sd). L'invention concerne un procédé de mesure de la topographie d'une surface d'un échantillon (2), l'image globale comportant une multitude de points. Le procédé consiste à : générer une mesure supérieure avec un grand nombre de valeurs de mesures supérieures (mo), générer une mesure inférieure avec un grand nombre de valeurs de mesures inférieures (md), comparer les valeurs de mesures supérieures à une valeur seuil supérieure prédéfinie (so) et comparer les valeurs de mesures inférieures à une valeur seuil inférieure prédéfinie (Sd), et créer une image globale à partir de la comparaison des valeurs de mesures supérieures (mo) avec la valeur seuil supérieure prédéfinie (so) et de la comparaison des valeurs de mesures inférieures (md) avec la valeur seuil inférieure prédéfinie (sd).