SAMPLE ANALYSIS DEVICE AND COLLECTOR MIRROR UNIT FOR SAMPLE ANALYSIS DEVICE

A sample analysis device for detecting light emitted from a measurement sample irradiated with charged particles and analyzing the measurement sample, wherein in order to enable an analysis at a higher resolution than in the past, the sample analysis device is provided with: an irradiation unit 3 for irradiating the sample W with charged particles; a collector mirror 41 provided between the irradiation unit 3 and the sample W, the collector mirror 41 collecting light emitted from the sample W; and a retarding voltage application unit 6 for applying a retarding voltage, for decelerating the charged particles, onto the sample W or a sample stand 201 on which the sample W is placed. L'invention concerne un dispositif d'analyse d'échantillons pour détecter une lumière émise par un échantillon de mesure exposé avec des particules chargées et analyser l'échantillon de mesure, le dispositif d'analyse d'échantillons comprenant, afin de permettre une analyse à une résolution plus élevée que dans le passé : une unité d'exposition (3) pour exposer l'échantillon (W) avec des particules chargées ; un miroir collecteur (41) disposé entre l'unité d'exposition (3) et l'échantillon (W), le miroir collecteur (41) collectant une lumière émise par l'échantillon (W) ; et une unité d'application de tension de retard (6) pour appliquer une tension de retard, pour ralentir les particules chargées, sur l'échantillon (W) ou sur une platine d'échantillon (201) sur laquelle l'échantillon (W) est placé. 荷電粒子が照射された測定試料から出る光を検出して前記測定試料を分析する試料分析装置において、従来よりも高い分解能で分析できるようにすべく、荷電粒子を試料Ｗに照射する照射部３と、照射部３と試料Ｗとの間に設けられるとともに、試料Ｗから出る光を集光する集光ミラー４１と、試料Ｗ又は試料Ｗが載置される試料台２０１に荷電粒子を減速させるリターディング電圧を印加するリターディング電圧印加部６とを具備するようにした。