MEMS DEVICE AND PROCESS

The application describes MEMS transducers and associated methods of fabrication. The MEMS transducer has a flexible membrane with a vent structure comprising a moveable portion which opens in response to a differential pressure across the membrane to provide a flow path through the membrane. At lea...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	PIECHOCINSKI, Marek Sebastian
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	DEAF-AID SETS ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE ELECTRICITY LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The application describes MEMS transducers and associated methods of fabrication. The MEMS transducer has a flexible membrane with a vent structure comprising a moveable portion which opens in response to a differential pressure across the membrane to provide a flow path through the membrane. At least one edge of the moveable portion comprises one or more protrusions and/or recesses in the plane of the moveable portion. La présente invention concerne des transducteurs MEMS et des procédés de fabrication associés. Le transducteur MEMS a une membrane souple ayant une structure d'évent comprenant une partie apte à se déplacer qui s'ouvre en réponse à une pression différentielle à travers la membrane pour fournir un chemin d'écoulement à travers la membrane. Au moins un bord de la partie apte à se déplacer comprend une ou plusieurs saillies et/ou renfoncements dans le plan de la partie apte à se déplacer.