PROBES WITH FIDUCIAL MARKS, PROBE SYSTEMS INCLUDING THE SAME, AND ASSOCIATED METHODS

Probes with fiducial marks, probe systems including the same, and associated methods. The probes include a beam portion and a probe tip that is configured to contact a device under test (DUT), and further include a fiducial mark formed on the beam portion that is configured to facilitate alignment of the probe and the DUT. The fiducial mark is configured to be visible to an optical assembly, and is in focus to the optical assembly within a depth of field of the optical assembly that is smaller than a depth of field over which the beam portion is in focus to the optical assembly. The methods include methods of utilizing and/or manufacturing the probes. L'invention concerne des sondes ayant des repères d'alignement, des systèmes de sonde les comprenant, et des procédés associés. Les sondes comprennent une partie de poutre et une pointe de sonde qui est configurée pour entrer en contact avec un dispositif sous test (DUT), et comprennent en outre un repère d'alignement formé sur la partie de poutre qui est configuré pour faciliter l'alignement de la sonde et du DUT. Le repère d'alignement est conçu pour être visible par un ensemble optique, et est focalisé vers l'ensemble optique dans une profondeur de champ de l'ensemble optique qui est inférieure à une profondeur de champ sur laquelle la partie de poutre est focalisée vers l'ensemble optique. Les procédés comprennent des procédés d'utilisation et/ou de fabrication des sondes.