DROPLET GENERATOR FOR LITHOGRAPHIC APPARATUS, EUV SOURCE AND LITHOGRAPHIC APPARATUS

Disclosed is an electro-actuable element for a droplet generator, comprising a plurality of electro-actuable segments spaced apart radially so as to define a channel therebetween. The electro-actuable element may comprise a clamping assembly for clamping the electro- actuable element to a capillary...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	BUSTRAAN, Krijn, Frederik, RENKENS, Michael, Jozef, Mathijs
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS X-RAY TECHNIQUE
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Disclosed is an electro-actuable element for a droplet generator, comprising a plurality of electro-actuable segments spaced apart radially so as to define a channel therebetween. The electro-actuable element may comprise a clamping assembly for clamping the electro- actuable element to a capillary without adhesive. The clamping assembly may comprise an inner wedge member and an outer wedge member. The inner wedge member may comprise a central channel for receiving the electro-actuable element and capillary and be locatable inside the outer wedge member to clamp the electro-actuable element to the capillary. L'invention concerne un élément électro-actionnable pour un générateur de gouttelettes, comprenant une pluralité de segments électro-actionnables espacés radialement de façon à définir un canal entre eux. L'élément électro-actionnable peut comprendre un ensemble de serrage pour serrer l'élément électro-actionnable à un capillaire sans adhésif. L'ensemble de serrage peut comprendre un élément de cale interne et un élément de cale externe. L'élément de cale interne peut comprendre un canal central pour recevoir l'élément électro-actionnable et le capillaire, et être placé à l'intérieur de l'élément de cale externe pour serrer l'élément électro-actionnable au capillaire.