FLUID LEAKAGE DETECTION FOR A MILLISECOND ANNEAL SYSTEM

Systems and methods for detecting a fluid leak associated with fluid cooled components in a millisecond anneal system are provided. In one example implementation, a millisecond anneal system can include a processing chamber having one or more fluid cooled components. The system can include a gas flow system configured to provide for the flow of process gas in the processing chamber. The system can include a vapor sensor configured to measure vapor in process gas flowing through the gas flow system for detecting a fluid leak associated with the one or more fluid cooled components. L'invention concerne des systèmes et des procédés pour détecter une fuite de fluide associée à des composants refroidis par fluide dans un système de recuit milliseconde. Dans un mode de réalisation illustratif, un système de recuit milliseconde peut comprendre une chambre de traitement ayant un ou plusieurs composants refroidis par fluide. Le système peut comprendre un système d'écoulement de gaz conçu pour permettre l'écoulement d'un gaz de traitement dans la chambre de traitement. Le système peut comprendre un capteur de vapeur conçu pour mesurer la vapeur dans le gaz de traitement s'écoulant dans le système d'écoulement de gaz afin de détecter une fuite de fluide associée audit ou auxdits composants refroidis par fluide.