MICRO-FLUIDIC DEVICE

A micro-fluidic device (10). The device (10) includes a semiconductor substrate (12) attached to a fluid supply source (18). The substrate (12) contains at least one vaporization heater (14), one or more bubble pumps (16) for feeding fluid from the fluid supply source (18) to the at least one vaporization heater (14), a fluid supply inlet from the fluid supply source (18) in fluid flow communication with each of the one or more bubble pumps (16), and a vapor outlet in vapor flow communication with the at least one vaporization heater (14). The one or more bubble pumps (16) each have a fluid flow path selected from a linear path, a spiral path, a circuitous path, and a combination thereof from the supply inlet to the at least one vaporization heater (14). L'invention concerne un dispositif micro-fluidique (10). Le dispositif (10) comprend un substrat semi-conducteur (12) fixé à une source d'alimentation de fluide (18). Le substrat (12) contient au moins un élément chauffant de vaporisation (14), une ou plusieurs pompes à bulles (16) pour alimenter le fluide depuis la source d'alimentation de fluide (18) vers l'au moins un élément chauffant de vaporisation (14), une entrée d'alimentation de fluide depuis la source d'alimentation de fluide (18) en communication fluidique d'écoulement avec chacune de la ou des pompes à bulles (16) et une sortie de vapeur en communication d'écoulement de vapeur avec l'au moins un élément chauffant de vaporisation (14). La ou les pompes à bulles (16) ont chacune un trajet d'écoulement de fluide sélectionné parmi un trajet linéaire, un trajet en spirale, un trajet détourné et une combinaison de ceux-ci depuis l'entrée d'alimentation vers l'au moins un élément chauffant de vaporisation (14).