CHILLER DEVICE

Provided is a chiller device having a function of enabling accurate and simultaneous heat-insulation control on workpieces having heat-insulation range conditions which are different from each other, by an inexpensive structure but without impairing the cooling performance and without applying overload to a compressor. In this device, when a coolant having a temperature reduced by cooling is flowed in to an evaporator 101-2 in a coolant cycle 200-2, to which a workpiece W2 is connected, through bypass flow paths formed by first to fourth flow paths connected to a cooling cycle 100 using an evaporator 101-1 in a coolant cycle 200-1 in a shared manner, to which a workpiece W1 is connected, the opening degree, at a valve EV2, of the second flow path is caused to be constant by a pulse signal, which a CPU has generated on the basis of a result obtained by performing PID calculation based on a coolant pressure sensed by a sensor P in the cycle 100 and based on a coolant temperature sensed by a sensor T3 in the cycle 100, and the opening degree, at a valve EV3, of the third flow path is variably set and the operation frequency at an electric compressor 102 is variably controlled within a predetermined range by drive-control signal output such that the flow rate of the coolant circulating, from the valve EV2, to the compressor 102 via a part of the first flow path converges on a target value. La présente invention concerne un dispositif de refroidissement ayant une fonction permettant une régulation précise et simultanée d'isolation thermique sur des pièces de fabrication ayant des conditions de plage d'isolation thermique qui sont différentes les unes des autres, au moyen d'une structure économique mais sans altérer les performances de refroidissement et sans appliquer une surcharge à un compresseur. Dans ce dispositif, lorsqu'un réfrigérant ayant une température réduite par refroidissement est circulé dans un évaporateur 101-2 dans un cycle de réfrigérant 200-2, auquel une pièce de fabrication W2 est raccordée, par l'intermédiaire de trajets d'écoulement de dérivation formés par des premier à quatrième trajets d'écoulement raccordés à un cycle de refroidissement 100 au moyen d'un évaporateur 101-1 dans un cycle de réfrigérant 200-1 d'une manière partagée, auquel une pièce de fabrication W1 est raccordée, le degré d'ouverture, au niveau d'une vanne EV2, du deuxième trajet d'écoulement est amené à être constant par un signal d'impulsion, qu'une unité centrale a g