ON-BOARD METROLOGY (OBM) DESIGN AND IMPLICATION IN PROCESS TOOL

Implementations of the present disclosure generally relate to an improved factory interface that is coupled to an on-board metrology housing configured for measuring film properties of a substrate. In one implementation, an apparatus comprises a factory interface, and a metrology housing removably coupled to the factory interface through a load port, the metrology housing comprises an on-board metrology assembly for measuring properties of a substrate to be transferred into the metrology housing. Des modes de réalisation de la présente invention concernent de manière générale une interface d'usine améliorée qui est couplée à un boîtier de métrologie embarqué configuré pour mesurer des propriétés de film d'un substrat. Dans un mode de réalisation, un appareil comprend une interface d'usine et un boîtier de métrologie couplé de manière amovible à l'interface d'usine à travers un orifice de chargement, le boîtier de métrologie comprenant un ensemble de métrologie embarqué permettant de mesurer les propriétés d'un substrat devant être transféré dans le boîtier de métrologie.