VIBRATION ISOLATION DEVICE, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD TO TUNE A VIBRATION ISOLATION DEVICE

The invention provides a vibration isolation device (VI) configured to support a structure (ST), comprising: * an air mount (AM) having a base part (BP) mounted on a reference structure and a vibration isolated part (VIP), and * an inverted pendulum device (IP), wherein a lower end of the inverted p...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	VAN LANKVELT, Alexander, Petrus, Josephus, SEIJGER, Olav, Johannes
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BLASTING CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS HEATING HOLOGRAPHY LIGHTING MATERIALS THEREFOR MEANS FOR DAMPING VIBRATION MECHANICAL ENGINEERING ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SHOCK-ABSORBERS SPRINGS THERMAL INSULATION IN GENERAL WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The invention provides a vibration isolation device (VI) configured to support a structure (ST), comprising: * an air mount (AM) having a base part (BP) mounted on a reference structure and a vibration isolated part (VIP), and * an inverted pendulum device (IP), wherein a lower end of the inverted pendulum device is mounted on the vibration isolated part of the air mount and an upper end of the inverted pendulum device support the structure to be supported, * wherein the vibration isolation device comprises a stiffness adjustment device (SA) configured to adjust the stiffness of the inverted pendulum device. L'invention concerne un dispositif d'isolement vibratoire (VI) configuré pour soutenir une structure (ST), comportant: * un support à air (AM) doté d'une partie de base (BP) montée sur une structure de référence et une partie isolée des vibrations (VIP), et * un dispositif à pendule inversé (IP), une extrémité inférieure du dispositif à pendule inversé étant montée sur la partie isolée des vibrations du support à air et une extrémité supérieure du dispositif à pendule inversé soutenant la structure à soutenir, * le dispositif d'isolement vibratoire comportant un dispositif de réglage de raideur (SA) configuré pour régler la raideur du dispositif à pendule inversé.