COLOR IMAGING FOR CMP MONITORING

A polishing system includes a polishing station including a platen to support a polishing pad, a support to hold a substrate, an in-line metrology station to measure the substrate before or after polishing of a surface of the substrate in the polishing station, and a controller. The in-line metrology station includes a color line-scan camera, a white light source, a frame supporting the light source and the camera, and a motor to cause relative motion between the camera and the support along a second axis perpendicular to the first axis to cause the light source and the camera to scan across the substrate. The controller is configured to receive a color data from the camera, to generate a 2-dimensional color image from the color data, and to control polishing at the polishing station based on the color image. Le système de polissage de l'invention comprend un poste de polissage comportant: un plateau de support d'un tampon de polissage; un support de maintien d'un substrat; un poste de métrologie en ligne pour mesurer le substrat avant ou après polissage d'une surface du substrat dans le poste de polissage; et un dispositif de contrôle. Le poste de métrologie en ligne comprend une caméra couleur à balayage linéaire; une source de lumière blanche; un cadre portant la source de lumière et la caméra; et un moteur qui engendre un mouvement relatif entre la caméra et le support, le long d'un second axe perpendiculaire au premier axe, pour amener la source de lumière et la caméra à balayer tout le substrat. Le dispositif de contrôle est configuré pour recevoir des données de couleur de la caméra, pour générer une image couleur bidimensionnelle à partir des données de couleurs, et pour contrôler le polissage au poste de polissage sur la base de l'image couleur.