PROXIMITY SENSOR, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

An gas gauge proximity sensor is described, the sensor comprising: a measurement gas flow channel having an measurement outlet configured to output a first gas flow towards a measurement object; an optical pressure sensor for comparing a pressure of the first gas flow towards the measurement object and a reference pressure; the optical pressure sensor comprising: o a first optical cavity fluidly connected to the measurement channel; o a second optical cavity fluidly connected to the reference pressure; o the optical cavities being configured to receive an electromagnetic radiation and output a reflected electromagnetic radiation; the optical pressure sensor further being configured to combine the reflected electromagnetic radiation from the first optical cavity with the reflected electromagnetic radiation from the second optical cavity and determine, based on the combined electromagnetic radiation, a pressure difference between the pressure of the first gas flow towards the measurement object and the reference pressure and determine, based on the pressure difference, a distance between the measurement outlet and the measurement object. La présente invention concerne un capteur de proximité de jauge de gaz, le capteur comprenant : un canal d'écoulement de gaz de mesure ayant une sortie de mesure configurée pour délivrer en sortie un premier flux de gaz vers un objet de mesure ; un capteur de pression optique pour comparer une pression du premier flux de gaz vers l'objet de mesure et une pression de référence ; le capteur de pression optique comprenant : o une première cavité optique en communication fluidique avec le canal de mesure ; o une deuxième cavité optique en communication fluidique avec la pression de référence ; o les cavités optiques étant configurées pour recevoir un rayonnement électromagnétique et délivrer en sortie un rayonnement électromagnétique réfléchi ; le capteur de pression optique étant en outre configuré pour combiner le rayonnement électromagnétique réfléchi depuis la première cavité optique avec le rayonnement électromagnétique réfléchi depuis la deuxième cavité optique et déterminer, sur la base du rayonnement électromagnétique combiné, une différence de pression entre la pression du premier écoulement gazeux vers l'objet de mesure et la pression de référence et déterminer, sur la base de la différence de pression, une distance entre la sortie de mesure et l'objet de mesure.