MECHANICAL QUANTITY MEASUREMENT DEVICE AND PRESSURE SENSOR USING SAME

Provided are a mechanical quantity measurement device having a higher signal-to-noise ratio and resolution than the prior art and a pressure sensor using the same. A mechanical quantity measurement device that is provided with a plurality of Wheatstone bridges on the main surface of a single semiconductor substrate 1 that are composed from impurity-diffused resistors and detect the difference between the strain amount occurring in the x-axis direction and the strain amount occurring in the y-axis direction, which intersect at right angles on the main surface of the semiconductor substrate 1, said mechanical quantity measurement device being characterized in that the impurity-diffused resistors composing the plurality of Wheatstone bridges are disposed evenly in an area to be measured. La présente invention concerne un dispositif de mesure de quantité mécanique ayant un rapport signal sur bruit et une résolution supérieurs par rapport à l'état de la technique et un capteur de pression l'utilisant. Le dispositif de mesure de quantité mécanique comprend une pluralité de ponts de Wheatstone sur la surface principale d'un substrat semi-conducteur unique 1 qui sont constitués de résistances à impuretés diffusées et détectent la différence entre la quantité de déformation se produisant dans la direction d'axe x et la quantité de déformation se produisant dans la direction de l'axe y, qui se croisent à angle droit sur la surface principale du substrat semi-conducteur 1, ledit dispositif de mesure de quantité mécanique étant caractérisé en ce que les résistances à impuretés diffusées constituant la pluralité de ponts de Wheatstone sont disposées de manière régulière dans une zone devant être mesurée. 従来以上に高い信号対雑音比で高分解能を持つ力学量測定装置およびそれを用いた圧力センサを提供する。 一つの半導体基板1の主表面に不純物拡散抵抗体によって構成される複数のホイートストンブリッジを備え、複数のホイートストンブリッジは半導体基板1の主表面上で直交するｘ軸方向に生じるひずみ量とｙ軸方向に生じるひずみ量との差分を検出する力学量測定装置において、複数のホイーストンブリッジを構成する不純物拡散抵抗体は各々測定する領域内に均一に配置されていることを特徴とする。