METHOD AND SYSTEM FOR FOCUS ADJUSTMENT A MULTI-BEAM SCANNING ELECTRON MICROSCOPY SYSTEM

A scanning electron microscopy system is disclosed. The system includes a multi-beam scanning electron microscopy (SEM) sub-system. The SEM sub-system includes a multi-beam electron source configured to form a plurality of electron beams, a sample stage configured to secure a sample, an electron-optical assembly to direct the electron beams onto a portion of the sample, and a detector assembly configured to simultaneously acquire multiple images of the surface of the sample. The system includes a controller configured to receive the images from the detector assembly, identify a best focus image of images by analyzing one or more image quality parameters of the images, and direct the multi-lens array to adjust a focus of one or more electron beams based on a focus of an electron beam corresponding with the identified best focus image. L'invention concerne un système de microscopie électronique à balayage. Le système comprend un sous-système de microscopie électronique à balayage (SEM) à faisceaux multiples. Le sous-système SEM comprend une source d'électrons à faisceaux multiples conçue pour former une pluralité de faisceaux d'électrons, une platine conçue pour fixer un échantillon, un ensemble électro-optique pour diriger les faisceaux d'électrons sur une partie de l'échantillon, et un ensemble détecteur conçu pour acquérir simultanément des images multiples de la surface de l'échantillon. Le système comprend un dispositif de commande conçu pour recevoir les images provenant de l'ensemble détecteur, identifier une image à meilleure mise au point parmi les images par analyse d'un ou plusieurs paramètres de qualité des images, et diriger le réseau à lentilles multiples pour régler une mise au point d'un ou plusieurs faisceaux d'électrons sur la base d'une mise au point d'un faisceau d'électrons correspondant à l'image à meilleure mise au point identifiée.