IMPROVED MICROELECTROMECHANICAL ACCELEROMETER DEVICE

The structure enables two-directional sensing of accelerations with compact component dimensions and with minimal cross-axis sensitivity. The rotation mass (100) includes a first frame (102) and a second frame (102). In one sense direction, the structure employs a combined proof mass of the first frame and the second frame, which improves the signal to noise level achievable with said device dimensions. In the other sense direction, a detection structure (140) with at least two sensing elements is used to detect displacements of the proof mass of the second frame. Due to the specific internal configuration of the detection structure (140), signal contributions of the sensing elements in the one direction cancel each other. La structure de l'invention permet une détection bidirectionnelle d'accélérations avec des dimensions de composant compact et avec une sensibilité minimale de l'axe transversale. La masse de rotation (100) comprend un premier cadre (102) et un second cadre (102). Dans un sens de détection, la structure utilise une masse d'épreuve combinée du premier cadre et du second cadre, ce qui améliore le niveau signal/bruit pouvant être obtenu avec ces dimensions du dispositif. Dans l'autre sens de détection, une structure de détection (140) comprenant au moins deux éléments de détection est utilisée pour détecter des déplacements de la masse d'épreuve du second cadre. Grâce à la configuration interne spécifique de la structure de détection (140), des contributions de signal des éléments de détection dans l'un des sens s'annulent l'une l'autre.