YTTRIUM OXYFLUORIDE, STARTING MATERIAL POWDER FOR PRODUCTION OF STABILIZED YTTRIUM OXYFLUORIDE, AND METHOD FOR PRODUCING STABILIZED YTTRIUM OXYFLUORIDE

This yttrium oxyfluoride is represented by YOF and is stabilized by a fluoride represented by CaF2. It is preferable that the number of moles of of Ca is from 8 moles to 40 moles (inclusive) relative to 100 moles of yttrium. A starting material powder according to the present invention is composed of a first mixed powder containing a calcium fluoride powder represented by CaF2 and a yttrium oxyfluoride powder represented by YOF, or is alternatively composed of a second mixed powder containing a calcium fluoride powder represented by CaF2, a yttrium fluoride powder represented by YF3 and a yttrium oxide powder represented by Y2O3. In a production method according to the present invention, a molded body of the first or second mixed powder is fired under predetermined conditions. La présente invention concerne un oxyfluorure d'yttrium représenté par YOF et stabilisé par un fluorure représenté par CaF2. Le nombre de moles de Ca est de préférence de 8 moles à 40 moles (inclus) par rapport à 100 moles d'yttrium. Une poudre de matériau de départ selon la présente invention est composée d'une première poudre mixte contenant une poudre de fluorure de calcium représenté par CaF2 et une poudre d'oxyfluorure d'yttrium représenté par YOF, ou est composée, en variante, d'une seconde poudre mixte contenant une poudre de fluorure de calcium représenté par CaF2, une poudre de fluorure d'yttrium représenté par YF3 et une poudre d'oxyde d'yttrium représenté par Y2O3. Dans un procédé de production selon la présente invention, un corps moulé à partir de la première ou de la seconde poudre mixte est cuit dans des conditions prédéterminées. 本発明のオキシフッ化イットリウムは、ＹＯＦで表され、ＣａＦ２で表されるフッ化物で安定化されている。イットリウムのモル数１００に対してＣａのモル数が８モル以上４０モル以下であることが好ましい。本発明の原料粉末はＣａＦ２で表されるフッ化カルシウム粉末と、ＹＯＦで表されるオキシフッ化イットリウム粉末とを含む第１の混合粉末からなるか、あるいは、ＣａＦ２で表されるフッ化カルシウム粉末と、ＹＦ３で表されるフッ化イットリウム粉末、及び、Ｙ２Ｏ３で表される酸化イットリウム粉末とを含む第２の混合粉末からなる。本発明の製造方法は、第１又は第２の混合粉末の成形体を所定条件で焼成するものである。