SUPERVISORY CONTROL OF RADIO FREQUENCY (RF) IMPEDANCE TUNING OPERATION

A radio frequency (RF) control system including a RF generator having a power amplifier that outputs a RF signal and a controller. A matching network receives the RF signal and generates at least one RF output signal. In a first mode of operation, the controller enables adjustment of the frequency of the RF signal and a tune element of the matching network to achieve an impedance match and in a second mode of operation the controller enables adjustment of only the tune element of the matching network to achieve an impedance match while the frequency is adjusted to a target frequency. The RF controls system operates in a continuous and pulse mode of operation. L'invention concerne un système de commande radiofréquences (RF) comprenant un générateur RF possédant un amplificateur de puissance qui délivre un signal RF et un dispositif de commande. Un réseau d'adaptation reçoit le signal RF et génère au moins un signal de sortie RF. Dans un premier mode de fonctionnement, le dispositif de commande permet le réglage de la fréquence du signal RF et d'un élément d'accord du réseau d'adaptation afin d'obtenir une adaptation d'impédance et, dans un second mode de fonctionnement, le dispositif de commande permet le réglage uniquement de l'élément d'accord du réseau d'adaptation afin d'obtenir une adaptation d'impédance tandis que la fréquence est réglée à une fréquence cible. Le système de commande RF fonctionne dans un mode continu et pulsé de fonctionnement.