SYSTEMS & METHODS FOR METERING A DOSE VOLUME OF FLUID USED TO TREAT MICROELECTRONIC SUBSTRATES

The disclosure relates to systems and methods for metering a dose volume of fluid that may be used to treat microelectronic substrates. The system enables precision dispensing of relatively small amounts of a liquid chemical into a chemical bath or processing chamber for microelectronic substrates. The dispensing device may include a fluid conduit with a plurality of actuation devices that may limit fluid communication between the actuation devices and store a portion of the fluid in expandable membrane. The actuation devices may push or pull the fluid within the fluid conduit when the expandable membrane expands or contracts. The configuration and operation of the actuation devices may enable the collection, isolation, and dispensing of the dose volume. La présente invention concerne des systèmes et des procédés de dosage d'une dose volumétrique de fluide pouvant être utilisé pour traiter des substrats micro-électroniques. Le système permet la distribution précise de quantités relativement petites d'un produit chimique liquide dans un bain chimique ou dans une chambre de traitement pour substrats micro-électroniques. Le dispositif de distribution peut comprendre un conduit de fluide présentant une pluralité de dispositifs d'actionnement pouvant limiter la communication fluidique entre les dispositifs d'actionnement et stocker une partie du fluide dans une membrane dilatable. Les dispositifs d'actionnement peuvent pousser ou aspirer le fluide dans le conduit de fluide lorsque la membrane dilatable se dilate ou se contracte. La configuration et le fonctionnement des dispositifs d'actionnement peuvent permettre la collecte, l'isolation, et la distribution de la dose volumétrique.