SYSTEM AND METHOD FOR DYNAMIC CARE AREA GENERATION ON AN INSPECTION TOOL

A defect inspection system includes an inspection sub-system and a controller communicatively coupled to the detector. The inspection sub-system includes an illumination source configured to generate a beam of illumination, a set of illumination optics to direct the beam of illumination to a sample, and a detector configured to collect illumination emanating from the sample. The controller includes a memory device and one or more processors configured to execute program instructions. The controller is configured to determine one or more target patterns corresponding to one or more features on the sample, define one or more care areas on the sample based on the one or more target patterns and design data of the sample stored within the memory device of the controller, and identify one or more defects within the one or more care areas of the sample based on the illumination collected by the detector. La présente invention concerne un système d'inspection de défauts comportant un sous-système d'inspection et un contrôleur couplés en communication au détecteur. Le sous-système d'inspection comporte une source d'éclairage configurée pour générer un faisceau d'éclairage, un ensemble d'éléments optiques d'éclairage pour diriger le faisceau d'éclairage vers un échantillon, et un détecteur configuré pour recueillir un éclairage émanant de l'échantillon. Le contrôleur comporte une mémoire et un ou des processeur(s) configuré(s) pour exécuter des instructions de programme. Le contrôleur est configuré pour déterminer un ou plusieurs motifs cibles correspondant à une ou plusieurs caractéristique(s) sur l'échantillon, définir une ou plusieurs zone(s) de soins sur l'échantillon sur la base dudit un ou desdits motif(s) cible(s) et des données de conception de l'échantillon stockées dans le dispositif de mémoire du contrôleur, et identifier un ou des défaut(s) à l'intérieur de ladite une ou desdites zone(s) de soins de l'échantillon en fonction de l'éclairage recueilli par le détecteur.