DEFECT DETERMINING METHOD AND X-RAY INSPECTION DEVICE

The purpose of the present invention is to provide an X-ray inspection device that detects a defect not on the basis of a change of an X-ray irradiation angle but on uniform determining criteria. As one embodiment for achieving the purpose, proposed below is an X-ray inspection device that is provided with: a detection element that detects a transmission X-ray, which has been emitted from an X-ray source and passed through a sample; and an arithmetic device, which forms a profile on the basis of output signals transmitted from the detection element, and which detects, using the profile, a defect included in the sample. The arithmetic device detects the defect on the basis of threshold setting corresponding to the visual field positions (11a, 11b, 11c) of the transmission X-ray. L'objectif de la présente invention est de fournir un dispositif d'inspection par rayons X qui détecte un défaut, non sur la base d'un changement d'un angle d'irradiation par rayons X, mais sur la base des critères de détermination uniformes. Selon un mode de réalisation pour atteindre cet objectif, l'invention décrit ci-dessous un dispositif d'inspection par rayons X qui comprend : un élément de détection qui détecte des rayons X de transmission, qui ont été émis par une source de rayons X et passés à travers un échantillon ; et un dispositif arithmétique, qui forme un profil sur la base de signaux de sortie émis par l'élément de détection, et qui détecte, à l'aide du profil, un défaut inclus dans l'échantillon. Le dispositif arithmétique détecte le défaut sur la base d'un réglage de seuil correspondant à des positions de champ visuel (11a, 11b, 11c) des rayons X de transmission. 本発明は、Ｘ線の照射角度の変化によらず、均一な判定基準に基づいて、欠陥を検出するＸ線検査装置の提供を目的とする。この目的を達成するための一態様として、以下にＸ線源から放出され、試料を透過した透過Ｘ線を検出する検出素子と、当該検出素子の出力信号に基づいてプロファイルを形成し、当該プロファイルを用いて試料に含まれる欠陥を検出する演算装置を備えたＸ線検査装置であって、演算装置は透過Ｘ線の視野位置（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）に応じた閾値設定に基づいて、前記欠陥を検出するＸ線検査装置を提案する。