A DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING HIGH ASPECT RATIO STRUCTURES

A method of manufacturing a Lithium battery (100) with a current collector formed of pillars (11) on a substrate face (10), wherein the method comprises: forming elongate and aligned structures forming electrically conductive pillars (11) on the substrate face (10) with upstanding pillar walls extending from a pillar base to a pillar top; wherein the pillars are covered with a laminate comprising a first electrode (12), a solid state electrolyte layer (13); a second electrode layer (14), and a topstrate (20) forming an electrode part; and wherein at least one of the first electrode layer, second electrode layer and topstrate layer is non-conformally coated to prevent Lithium intercalation into the first or second electrode near the pillar base by limiting cracking at the pillar base when volume expansion/contraction of the electrode layers happens during the battery charge/discharge cycles. La présente invention concerne un procédé de fabrication d'une batterie au lithium (100) pourvue d'un collecteur de courant constitué de piliers (11) sur une face (10) du substrat. Le procédé comprend une étape consistant à former des structures allongées et alignées définissant, sur la face (10) du substrat, des piliers (11) électriquement conducteurs ayant des parois verticales de piliers s'étendant depuis une base des piliers jusqu'à une partie supérieure des piliers. Les piliers sont recouverts d'un stratifié comprenant une première électrode (12), une couche d'électrolyte à l'état solide (13), une seconde couche d'électrode (14) et un substrat supérieur (20) formant une partie électrode. La première couche d'électrode et/ou la seconde couche d'électrode et/ou la couche de substrat supérieur sont recouvertes approximativement de manière à éviter une intercalation de lithium dans la première ou la seconde électrode à proximité de la base des pilier, ceci limitant la fissuration au niveau de la base des piliers lorsque la dilatation/contraction du volume des couches d'électrode se produit pendant les cycles de charge/décharge de la batterie.