MOVABLE SUPPORT AND LITHOGRAPHIC APPARATUS

The present invention relates to a movable support (1) configured to support an object, comprising: a support plane (2) to support the object, an actuator assembly to move the movable support in a first direction and in a second direction perpendicular to the first direction, wherein the first direction and the second direction extend in a plane parallel to the support plane, wherein the actuator assembly comprises: a first actuator (3) configured to exert a first actuation force (F1) in a first actuation direction (A1), said first actuation direction being parallel to the support plane, a second actuator (4) configured to exert a second actuation force (F2) in a second actuation direction (A2), said second actuation direction being parallel to the support plane, wherein the first actuation direction and the second actuation direction are arranged non-parallel and non-perpendicular with respect to each other. La présente invention concerne un support mobile (1) conçu pour supporter un objet, comprenant : un plan de support (2) pour supporter l'objet, un ensemble actionneur pour déplacer le support mobile dans une première direction et dans une seconde direction perpendiculaire à la première direction, la première direction et la seconde direction s'étendant dans un plan parallèle au plan de support, l'ensemble actionneur comprenant : un premier actionneur (3) conçu pour exercer une première force d'actionnement (F1) dans une première direction d'actionnement (A1), ladite première direction d'actionnement étant parallèle au plan de support, un second actionneur (4) conçu pour exercer une seconde force d'actionnement (F2) dans une seconde direction d'actionnement (A2), ladite seconde direction d'actionnement étant parallèle au plan de support, la première direction d'actionnement et la seconde direction d'actionnement étant disposées de manière non parallèle et non perpendiculaire l'une par rapport à l'autre.