WASTE GAS-TREATING SCRUBBER FORMED OF COMBINATION OF GAS-LIQUID CONTACT MEANS HAVING MULTIPLE FUNCTIONS SO AS TO BE APPROPRIATE FOR TREATING ACCORDING TO WASTE GAS PROPERTIES

The present invention relates to a scrubber treating exhaust gas by means of a multilayer gas-liquid contact means assembly formed by combining a plurality of unit gas-liquid contact means having different gas-liquid contact functions so as to be appropriate for treating combustible exhaust gas according to the properties and concentration thereof, the combustible exhaust gas being emitted from a semiconductor manufacturing process. The scrubber is a wet scrubber absorbing and purifying waste gas by having a cleaning solution come into contact with combustible exhaust gas, wherein the gas-liquid contact means installed inside the scrubber is formed of a multilayer structure formed by combining a plurality of gas-liquid contact means unit bodies having different gas-liquid contact functions. La présente invention concerne un laveur qui traite un gaz résiduaire en utilisant un ensemble de moyens de contact gaz-liquide multicouche, formé en combinant une pluralité de moyens de contact gaz-liquide unitaires qui présentent différentes fonctions de contact gaz-liquide afin d'être appropriés pour le traitement de gaz d'échappement combustible selon les propriétés et la concentration de celui-ci, le gaz d'échappement combustible étant émis à partir d'un procédé de fabrication de semi-conducteur. Le laveur est un laveur par voie humide qui absorbe et purifie un gaz d'échappement en faisant en sorte qu'une solution de nettoyage entre en contact avec un gaz d'échappement combustible, les moyens de contact gaz-liquide installés à l'intérieur du laveur l'épurateur étant formés d'une structure multicouche formée en combinant une pluralité de corps unitaires de moyens de contact gaz-liquide des corps d'unités qui présentent différentes fonctions de contact gaz-liquide. 본 발명은 반도체 제조공정에서 배출하는 가연 배기가스의 성상 및 농도에 따라 그 처리에 적합하도록 기액접촉 기능이 상이한 단위 기액접촉수단을 복수개 조합한 다층의 기액접촉수단 조합체에 의해 배기가스를 처리하는 스크러버에 관한 것이다. 상기 스크러버는 세정액과 가연 배기가스를 접촉시켜 폐가스를 흡수 정화하는 습식 스크러버에 있어서, 스크러버 내부에 설치되는 기액접촉수단이 기액접촉기능이 상이한 기액접촉수단 단위체를 복수개 조합한 다층구조로 이루어진다.