GATE VALVE
Provided is a gate valve that enables a substrate to be suitably removed from a valve body when opening the gate valve. The gate valve (30A) is a valve that is provided on the entrance and exit openings for a flexible belt-like substrate (2) in a chamber to which the substrate (2) is conveyed and op...
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Hauptverfasser: | , , , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; jpn |
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Zusammenfassung: | Provided is a gate valve that enables a substrate to be suitably removed from a valve body when opening the gate valve. The gate valve (30A) is a valve that is provided on the entrance and exit openings for a flexible belt-like substrate (2) in a chamber to which the substrate (2) is conveyed and opens and closes the entrance and exit openings. The gate valve (30A) is equipped with a valve seat (31A) provided on one surface side of the substrate (2) and a valve body (32A) provided on the other surface side of the substrate (2). The valve body (32A) is a flexible member. By being seated on the valve seat (31A), the valve body (32A) closes the gate valve (30A) in a state sandwiching the substrate (2) with the valve body (32A) and the valve seat (31A). When the valve body (32A) separates from the valve seat (31A) to open the gate valve (30A), the site on the valve body (32A) that comes into contact with the other surface of the substrate (2) in the seated state also moves in a direction differing from the separation direction of the valve body (32A).
La présente invention se rapporte à un robinet-vanne grâce auquel un substrat peut être retiré de manière appropriée d'un corps de soupape lors de l'ouverture du robinet-vanne. Le robinet-vanne (30A) est une soupape qui se trouve sur les ouvertures d'entrée et de sortie pour un substrat du type courroie flexible (2) dans une chambre dans laquelle ce substrat (2) est transporté, et qui ouvre et ferme les ouvertures d'entrée et de sortie. Ce robinet-vanne (30A) est muni d'un siège de soupape (31A) situé sur un côté de surface du substrat (2), et d'un corps de soupape (32A) disposé sur l'autre côté de surface dudit substrat (2). Le corps de soupape (32A) est un élément flexible. Quand il est positionné sur le siège de soupape (31A), le corps de soupape (32A) ferme le robinet-vanne (30A) pendant que ce corps de soupape (32A) et le siège de soupape (31A) sont placés de part et d'autre du substrat (2). Lorsque ledit corps de soupape (32A) se sépare du siège de soupape (31A) pour ouvrir le robinet-vanne (30A), l'emplacement sur le corps de soupape (32A) qui entre en contact avec l'autre surface du substrat (2) à l'état positionné se déplace également dans une direction différant de la direction de séparation de ce corps de soupape (32A).
開弁時に基材を弁体から好適に剥がすことが可能なゲートバルブを提供する。 ゲートバルブ(30A)は、可撓性を有する帯状の基材(2)が搬送されるチャンバーにおける基材(2)の出入口に設けられ、出入口を開閉するバルブであって、基材(2)の一面側に設けられる弁座(31A)と、基材(2)の他面側に設けられる弁体(32A)と、を備え、弁体(32A)は、可撓性部材であり、弁体(32 |
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