METHOD FOR CONTROLLING LASER PULSES

The present invention presents a method for manufacturing thin films by using pulse laser technology so that a coating (16) of as uniform quality as possible is produced by controllably adjusting the on-time or pulse energy of the laser source (11). The uniform quality of the coating (16) is maximised by interrupting the action of the laser source (11) during scanning in a controllable manner so that the ablation process and the detached material flow (14) from the target (13) to the base material (15) would be made as homogeneous as possible. The adjustment of the pulses (23) of the laser pulse front is achieved by turning the laser source (11) off for short periods during scanning in selected places of the scanning area by using an intellectually guiding function generator (31), which takes into account also the position data signal (33P) provided by the polygon scanner (21), or by adjusting the outgoing laser pulse energy either directly controlled by the controller (11c), or by optical or mechanical attenuation. La présente invention concerne un procédé de fabrication de films minces à l'aide d'une technique laser à impulsions de telle sorte qu'un revêtement (16) d'une qualité aussi uniforme que possible est produit en ajustant d'une manière pouvant être commandée le temps d'activation ou l'énergie des impulsions de la source laser (11). La qualité uniforme du revêtement (16) est maximisée en interrompant d'une manière pouvant être commandée l'action de la source laser (11) pendant un balayage de telle sorte que le processus d'ablation et le flux de matériau détaché (14) allant de la cible (13) au matériau de base (15) peuvent être rendus aussi homogènes que possible. Le réglage des impulsions (23) du front d'impulsions laser est obtenu en désactivant la source laser (11) pendant de courtes périodes pendant un balayage dans des emplacements sélectionnés de la zone de balayage au moyen d'un générateur de fonctions à guidage intellectuel (31) qui tient également compte du signal de données de position (33P) délivré par le scanner polygonal (21) ou en ajustant l'énergie des impulsions laser sortantes soit par commande directe du dispositif de commande (11c) soit par atténuation optique ou mécanique.