PHOTONIC DEGRADATION MONITORING FOR SEMICONDUCTOR DEVICES

Methods of testing a semiconductor, and semiconductor testing apparatus, are described. In an example, a method for testing a semiconductor can include applying light on the semiconductor to induce photonic degradation. The method can also include receiving a photoluminescence measurement induced fr...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	QIU, Taiqing, JOHNSON, Michael C, SOLTZ, David Aitan, TRACY, Kieran Mark, RIM, Seung Bum, TU, Xiuwen, SHEN, Yu-Chen
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Methods of testing a semiconductor, and semiconductor testing apparatus, are described. In an example, a method for testing a semiconductor can include applying light on the semiconductor to induce photonic degradation. The method can also include receiving a photoluminescence measurement induced from the applied light from the semiconductor and monitoring the photonic degradation of the semiconductor from the photoluminescence measurement. L'invention concerne des procédés de test d'un semi-conducteur, ainsi qu'un appareil de test de semi-conducteur. Dans un exemple, un procédé de test d'un semi-conducteur peut consister à appliquer de la lumière sur le semi-conducteur afin d'induire une dégradation photonique. Le procédé peut également consister à recevoir en provenance du semi-conducteur une mesure de photo-luminescence induite par la lumière appliquée, et à surveiller la dégradation photonique du semi-conducteur à partir de la mesure de photo-luminescence.