TRANSFER VALVE

Die Erfindung betrifft ein Transferventil (80) zum Öffnen und Schließen einer Öffnung, insbesondere einer Schleuse, einer Reingaskabine, wobei die Öffnung in einer Schließposition von einem Verschlusselement (30) des Transferventils verschlossen und in einer geöffneten Position freigegeben ist. Dabei ist es vorgesehen, dass zumindest ein erster Aktuator und ein zweiter Aktuator mittelbar oder unmittelbar mit dem Verschlusselement verbunden sind und dass der erste Aktuator derart an das Verschlusselement angekoppelt ist, dass er das Verschlusselement zum Öffnen von der Öffnung abhebt und/oder zum Schließen an diese anlegt und dass der zweite Aktuator derart an das Verschlusselement angekoppelt ist, dass er das Verschlusselement quer zur Öffnung verschiebt. Das Transferventil ermöglicht das Öffnen und Schließen einer Öffnung der Reingaskabine bei geringem Platzbedarf. The invention relates to a transfer valve (80) for opening and closing an opening, in particular a sluice, of a clean gas chamber, wherein the opening is closed by a closure element (30) of the transfer valve in a closed position and is released in an open position. For this purpose, according to the invention, at least one first actuator and a second actuator are directly or indirectly connected to the closure element, and the first actuator is coupled to the closure element in such a way that it raises the closure element for opening the opening and/or comes into contact with same for closing, and the second actuator is coupled to the closure element in such a way that it moves the closure element in a transverse direction to the opening. The transfer valve permits the opening and closing of an opening of the clean gas chamber with small space requirements. L'invention concerne une soupape de transfert (80) servant à ouvrir et à fermer une ouverture, en particulier un sas d'une cabine à atmosphère propre, l'ouverture étant fermée dans une position de fermeture par un élément de fermeture (30) de la soupape de transfert, et étant dégagée dans une position d'ouverture. Selon l'invention, au moins un premier actionneur et un deuxième actionneur peuvent être reliés directement oui indirectement à l'élément de fermeture, et le premier actionneur est raccordé à l'élément de fermeture de telle manière qu'il soulève l'élément de fermeture pour ouvrir l'ouverture et/ou prend appui sur ce dernier pour la fermer, et le deuxième actionneur est raccordé à l'élément de fermeture de telle manière qu'il dépl