WIDE FIELD-OF-VIEW ATOM PROBE

In an atom probe having a specimen mount spaced from a detector, and preferably having a local electrode situated next to the specimen mount, a lens assembly is insertable between the specimen (and any local electrode) and detector. The lens assembly includes a decelerating electrode biased to decelerate ions from the specimen mount and an accelerating mesh biased to accelerate ions from the specimen mount, with the decelerating electrode being situated closer to the specimen mount and the decelerating electrode being situated closer to the detector. The decelerating electrode and accelerating mesh cooperate to divert the outermost ions from the specimen mount - which correspond to the peripheral areas of a specimen - so that they reach the detector, whereas they would ordinarily be lost. Because the detector now detects the outermost ions, the peripheral areas of the specimen are now imaged by the detector, providing the detector with a greatly increased field of view of the specimen, as much as 100 degrees (full angle) or more. Dans une sonde atomique comportant un support d'échantillon à distance d'un détecteur, et ayant de préférence une électrode locale située à côté du support d'échantillon, un ensemble lentille peut être inséré entre l'échantillon (et n'importe quelle électrode locale) et le détecteur. L'ensemble lentille comprend une électrode de décélération polarisée pour décélérer les ions en provenance du support d'échantillon et une maille d'accélération polarisée pour accélérer les ions en provenance du support d'échantillon, l'électrode de décélération étant située plus près du support d'échantillon et l'électrode de décélération étant située plus près du détecteur. L'électrode de décélération et la maille d'accélération coopèrent pour dévier les ions les plus à l'extérieur du support d'échantillon, ce qui correspond aux zones périphériques d'un échantillon, de sorte qu'ils atteignent le détecteur, alors qu'ils seraient normalement perdus. Étant donné que le détecteur détecte alors les ions les plus à l'extérieur, les zones périphériques de l'échantillon sont alors imagées par le détecteur, ce qui permet au détecteur d'obtenir un champ de vision considérablement accru de l'échantillon, allant jusqu'à 100 degrés (angle plein) ou plus.