METHOD FOR MEASURING THIN FILM THICKNESS

The present invention relates to a method for measuring thin film thickness, and comprises a reflectivity acquisition step, a refractive index assumption step, a conversion step, an error checking step, a phase extraction step, a phase restoration step, and a thickness calculation step. The reflectivity acquisition step acquires a light intensity signal of a thin film, and acquires a reflectivity of the thin film through the light intensity signal. The refractive index assumption step assumes the refractive index of air and the refractive index of the thin film to be a real number, and the refractive index of a substrate on which the thin film is formed to be a complex number. The conversion step converts the reflectivity into a normal reflectivity. The error checking step checks whether a first difference value, which is a difference between the maximum value of the normal reflectivity converted in the conversion step and a first reference value, or a second difference value, which is a difference between the minimum value of the normal reflectivity converted in the conversion step and a second reference value, falls within a preset error range. The phase extraction step extracts a phase when the first difference value or the second difference value falls within the error range. The phase restoration step restores the phase extracted in the phase extraction step. The thickness calculation step calculates a thickness of the thin film from the phase restored in the phase restoration step. La présente invention concerne un procédé de mesure d'épaisseur de film mince, et comprend une étape d'acquisition de réflectivité, une étape d'estimation d'indice de réfraction, une étape de conversion, une étape de vérification d'erreur, une étape d'extraction de phase, une étape de restauration de phase, et une étape de calcul d'épaisseur. L'étape d'acquisition de réflectivité permet d'acquérir un signal d'intensité lumineuse d'un film mince, et d'acquérir une réflectivité du film mince à travers le signal d'intensité de lumière. L'étape d'estimation d'indice de réfraction permet de considérer l'indice de réfraction de l'air et l'indice de réfraction du film mince comme étant un nombre réel, et l'indice de réfraction d'un substrat sur lequel le film mince est formé comme étant un nombre complexe. L'étape de conversion permet de convertir la réflectivité en une réflectivité normale. L'étape de vérification d'erreur permet de vérifier si une première valeur de différence,