LASER IRRADIATION METHOD AND DEVICE
In the present invention, a plurality of parallel scanning lines is set in the x direction arranged with a scanning line gap Py in the y direction, the longitudinal direction of a linear laser spot (W) is oriented in the y direction, and laser light is irradiated on each irradiation position of widt...
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Hauptverfasser: | , , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; jpn |
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