LASER IRRADIATION METHOD AND DEVICE

In the present invention, a plurality of parallel scanning lines is set in the x direction arranged with a scanning line gap Py in the y direction, the longitudinal direction of a linear laser spot (W) is oriented in the y direction, and laser light is irradiated on each irradiation position of width direction pitch Λ while moving the laser spot (W) along the scanning line relative to an article to be processed. At that time, the irradiation position on adjacent scanning lines is offset by the position offset Δx in the x direction, and the scanning line gap Py, width direction pitch Λ, and position offset Δx are determined such that the cumulative value of the irradiated laser light intensity is substantially uniform. Thus, no difference appears in the amount of superimposition for a profile on an extension of the longitudinal axis Cy for irradiation position on odd-numbered scanning lines and the amount of superimposition for a profile on an extension of the intermediate axis My; therefore, laser irradiation can be carried out using the linear laser spot W without giving rise to parts with insufficient intensity and parts with excess intensity. Selon la présente invention, une pluralité de lignes de balayage parallèles est réglée dans la direction x de manière agencée avec un espace de ligne de balayage Py dans la direction y, la direction longitudinale d'un point laser linéaire (W) est orientée dans la direction y, et la lumière laser est irradiée sur chaque position d'irradiation de pas Λ dans la direction de la largeur tout en déplaçant le point laser (W) le long de la ligne de balayage par rapport à un article à traiter. A ce moment, la position d'irradiation sur des lignes de balayage adjacentes est décalée par le décalage de position Δx dans la direction x, et l'espace de ligne de balayage Py, le pas Λ dans la direction en largeur et le décalage de position Δx sont déterminés de telle sorte que la valeur cumulative de l'intensité de la lumière laser irradiée soit sensiblement uniforme. Ainsi, aucune différence n'apparaît dans la quantité de superposition pour un profil sur une extension de l'axe longitudinal Cy pour la position d'irradiation sur des lignes de balayage impaires et dans la quantité de superposition pour un profil sur une extension de l'axe intermédiaire My ; par conséquent, le rayonnement laser peut être mis en œuvre au moyen du point laser linéaire W sans donner lieu à des parties avec une intensité insuffisante et des parties avec u