SUBSTRATE CONTAMINANT ANALYSIS DEVICE AND SUBSTRATE CONTAMINANT ANALYSIS METHOD

A substrate contaminant analysis device according to the present invention, which is a substrate contaminant analysis device for transferring a sample solution, which is scanned by means of a scan nozzle on a substrate to be analyzed, from the scan nozzle to an analyzer through a flow path, comprises: a sample tube having a space into which the sample solution is to be loaded; and a switching valve, coupled to the sample tube, at least having a load position where the sample solution is loaded into the sample tube and an injection position from which the loaded sample solution is injected toward the analyzer, wherein the substrate contaminant analysis device includes gas intervals before and behind the sample solution when the sample solution is loaded into the sample tube, and further comprises a sensing sensor, installed in the sample tube, for sensing the gas intervals distinctly from the sample solution. La présente invention porte sur un dispositif d'analyse de contaminant de substrat, qui est un dispositif d'analyse de contaminant de substrat destiné à transférer une solution de dosage, qui est balayée au moyen d'une buse de balayage sur un substrat qui doit être analysé, depuis la buse de balayage jusqu'à un analyseur grâce à un trajet d'écoulement, ledit dispositif comprenant : un tube à échantillons ayant un espace dans lequel la solution de dosage doit être chargée; et une valve de commutation, couplée au tube à échantillons, ayant au moins une position de charge où la solution de dosage est chargée dans le tube à échantillons, et une position d'injection à partir de laquelle la solution de dosage chargée est injectée vers l'analyseur, le dispositif d'analyse de contaminant de substrat comprenant des intervalles gazeux devant et derrière la solution de dosage lorsque la solution de dosage est chargée dans le tube à échantillons, et comprenant en outre un capteur de détection, installé dans le tube à échantillons, destiné à détecter les intervalles gazeux de façon distincte de la solution de dosage. 본 발명에 따른 기판 오염물 분석 장치는, 분석 대상 기판에서 스캔 노즐을 이용하여 스캔한 샘플 용액을 상기 스캔 노즐로부터 분석기까지 유로를 통하여 이송하는 기판 오염물 분석 장치로서, 상기 샘플 용액이 로딩될 공간을 가진 샘플 튜브; 상기 샘플 튜브와 결합되며 상기 샘플 용액이 상기 샘플 튜브에 로딩되는 로드 포지션과 상기 로딩된 상기 샘플 용액을 상기 분석기쪽으로 인젝션하는 인젝션 포지션을 적어도 가지는 스위칭 밸브;를 포함하되, 상기 샘플 용액이 상기 샘플 튜브에 로딩됨에 있어서 상기 샘플 용액의 전·후에는 기체 구간을 포함하며, 상기 샘플 튜브에 설치되어 상기 기체 구간과 상기 샘플 용액을 구별하여 감지하는 감지 센서;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.