ION IMPLANTER

Die Erfindung beschreibt einen lonenimplanter, der zumindest eine Komponente aus einem Refraktärmetall der Gruppe W, W-Legierung, Mo und Mo-Legierung umfasst. Die Oberfläche dieser Komponente weist zumindest bereichsweise eine Schicht auf, die zumindest bereichsweise aus zumindest einer Verbindung zumindest eines Elements ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus C, B und N mit zumindest einem Element, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus W und Mo, gebildet ist. The invention relates to an ion implanter which comprises at least one component of a refractory metal of the group W, W alloy, Mo and Mo alloy. The surface of said component comprises, at least in sections, a layer that is formed, at least in sections, by at least one compound formed by at least one element selected from the group consisting of C, B and N combined with at least one element selected from the group consisting of W and Mo. La présente invention concerne un implanteur d'ions comprenant au moins un composant constitué d'un métal réfractaire du groupe constitué par W, un alliage de W, Mo et un alliage de Mo. La surface de ce composant comporte au moins par endroits une couche qui est formée au moins par endroits d'au moins un composé d'au moins un élément choisi dans le groupe constitué par C, B et N avec au moins un élément choisi parmi W et Mo.