METHOD FOR OPERATING AN INLINE COATING SYSTEM AND INLINE COATING SYSTEM

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb einer Inline-Beschichtungsanlage, welches eine Einschleuskammer (220), mit einem Einschleustor (260), einer an die Einschleuskammer (220) anschließenden ersten Pufferkammer (221), die mittels eines ersten Schleusentors (261) von der Einschleuskammer (220) abtrennbar ist, einer an die erste Pufferkammer (221) anschließenden Prozesskammer (235), die mittels eines zweiten Schleusentors (264) von der Pufferkammer (221) abtrennbar ist, einer an die Prozesskammer (235) anschließenden zweiten Pufferkammer (222), die mittels eines dritten Schleusentors (265) von der Prozesskammer (235) abtrennbar ist, einer an die zweite Pufferkammer (222) anschließenden Ausschleuskammer (240) mit einem Ausgangstor (263), die mittels eines vierten Schleusentors (262) von der zweiten Pufferkammer (222) abtrennbar ist, wobei die Einschleuskammer (220), die Pufferkammer (221), die Pufferkammer (222) und die Ausschleuskammer (240) als Modul für die Aufnahme von Substraten bis zu einer vorgegebenen Größe ausgebildet sind, aufweist, wobei die Substrate (200) für die Beschichtung von der Einschleuskammer (220) durch die erste Pufferkammer (221) zur Prozesskammer (235) und von der Prozesskammer (235) durch die zweite Pufferkammer (222) zur Ausschleuskammer (240) transportiert werden, welches sich dadurch auszeichnet, dass die erste Pufferkammer (221) eine Spaltschleuseneinrichtung mit zumindest einer Spaltblende (221b) aufweist, mittels der bei geöffnetem oder geschlossenem ersten Schleusentor (261) innerhalb der ersten Pufferkammer (221) ein Druckgradient zwischen dem Druck in dem Bereich des zweiten Schleusentors (264) und dem Druck in dem Bereich des ersten Schleusentors (261) eingestellt wird. Die Erfindung betrifft außerdem eine Inline-Beschichtungsanlage zur Ausführung des Verfahrens. The invention relates to a method for operating an inline coating system which has an introduction chamber (220) comprising an introduction gate (260), a first buffer chamber (221) which connects to the introduction chamber (220) and which can be separated from the introduction chamber (220) by means of a first sluice gate (261), a process chamber (235) which is connected to the first buffer chamber (221) and which can be separated from the buffer chamber (221) by means of a second sluice gate (264), a second buffer chamber (222) which connects to the process chamber (235) and which can be separated from the process chamber (235) by means of a third slui