APPARATUS AND METHOD FOR PLASMA IGNITION WITH A SELF-RESONATING DEVICE

Methods and apparatus for igniting a process plasma within a plasma chamber are provided. One or more self-resonating devices are positioned within a plasma chamber relative to a plasma generation volume within the plasma chamber. The plasma generation volume is defined by the plasma chamber. Each of the self- resonating devices generates an ignition plasma. The ignition plasmas cause a partial ionization of an ignition gas. The partially ionized ignition gas allows for ignition of a process plasma by applying an electric field to the plasma generation volume. L'invention concerne des procédés et un appareil permettant d'allumer un plasma de traitement dans une chambre à plasma. Un ou plusieurs dispositifs à résonance automatique sont positionnés à l'intérieur d'une chambre à plasma par rapport à un volume de génération de plasma à l'intérieur de la chambre à plasma. Le volume de génération de plasma est délimité par la chambre à plasma. Chacun des dispositifs à résonance automatique génère un plasma d'allumage. Les plasmas d'allumage provoquent une ionisation partielle d'un gaz d'allumage. Le gaz d'allumage partiellement ionisé permet l'allumage d'un plasma de traitement par application d'un champ électrique au volume de génération de plasma.