EUV LIGHT GENERATION SYSTEM, EUV LIGHT GENERATION METHOD, AND THOMSON SCATTERING MEASUREMENT SYSTEM

An EUV light generation system according to the present disclosure may be provided with: a chamber; a target feed device for feeding a target into the interior of the chamber; a drive laser device for irradiating drive pulse laser light onto the target to produce a plasma and generate EUV light; a probe laser device for irradiating probe pulse laser light onto the plasma to generate Thomson scattering light; a spectrometer for measuring the spectral waveform of ion term of the Thomson scattering light; and a wavelength filter arranged on the stage prior to the spectrometer, the wavelength filter inhibiting entry into the spectrometer of light, from within the light including the Thomson scattering light, having a prescribed wavelength substantially identical to the wavelength of the probe pulse laser light. Un système de génération de lumière ultraviolette extrême (EUV) selon la présente invention peut être pourvu : d'une chambre ; d'un dispositif d'alimentation en cible pour introduire une cible dans l'intérieur de la chambre ; d'un dispositif laser d'excitation pour émettre de la lumière laser pulsée d'excitation vers la cible afin de produire un plasma et de générer la lumière EUV ; d'un dispositif laser de sondage pour émettre de la lumière laser pulsée de sondage vers le plasma afin de générer de la lumière de diffusion de Thomson ; d'un spectromètre pour mesurer la forme d'onde spectrale du terme ionique de la lumière de diffusion de Thomson ; et d'un filtre de longueur d'onde agencé sur l'étage précédant le spectromètre, le filtre de longueur d'onde empêchant l'entrée dans le spectromètre d'une lumière, comprise dans la lumière comprenant la lumière de diffusion de Thomson, ayant une longueur d'onde prescrite sensiblement identique à la longueur d'onde de la lumière laser pulsée de sondage. 本開示によるＥＵＶ光生成システムは、チャンバと、チャンバの内部にターゲットを供給するターゲット供給装置と、ドライブパルスレーザ光をターゲットに照射することによりプラズマを発生させてＥＵＶ光を生成するドライブレーザ装置と、プローブパルスレーザ光をプラズマに照射することによりトムソン散乱光を生成するプローブレーザ装置と、トムソン散乱光のイオン項のスペクトル波形を計測する分光器と、分光器の前段に配置され、トムソン散乱光を含む光のうちプローブパルスレーザ光の波長と略同一波長の所定波長の光が分光器へと入射するのを抑制する波長フィルタとを備えてもよい。